(príprava tvrdých povlakov pre inžinierske aplikácie PVD metódami)

Laboratórium je vybavené najnovšími PVD technológiami na prípravu tvrdých, supertvrdých a prípadne aj funkčných povlakov na báze jedno- a viackomponentných systémov, vrátane nanokompozitných, multivrstvových a gradientných povlakov, pre strojárske a iné aplikácie na báze HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering) - magnetrónového naprašovania vysokoenergetickými impulzami na báze HiTUS (High Target Utilization Sputtering) - naprašovania s vysokou využiteľnosťou terča a nezávislým zdrojom plazmy.

Vybavenie laboratória povlakovacích technológií:

1. Cryofox Discovery 5000 PVD zariadenie s HiPIMS a DCMS zdrojmi po technickom zhodnotení (Polyteknik, Denmark) 3 nevyvážené magnetróny (2 fokusované) s DC a HiPIMS zdrojmi rotujúci držiak s ohrevom podložiek do 500 °C a pulzným predpätím do -1400 V reakčné naprašovanie (N2, C2H2, H2, O2 a pod.)  Prínos:   Zvýšenie tvrdosti W-C povlakov z 15-17 GPa na 28,4 ± 3,4 GPa (+65%)

2. PQL S500 HiTUS technológia naprašovania tenkých vrstiev a povlakov (PQL Ltd., United Kingdom) 4 terče s priemerom 100 mm s RF zdrojom pre vodivé aj nevodivé materiály rotujúci držiak s ohrevom podložiek do 500 °C a RF predpätím do 500 W reakčné naprašovanie (N2, C2H2, H2, O2) in situ meranie teploty podložky, rýchlosti naprašovania, zloženia zvyškových plynov a zloženia plazmy (optickou spektroskopiou)   Prínos:    Zvýšenie tvrdosti W-C povlakov na 34,0 ± 3,0 GPa (+100%)

Obe PVD technológie sa vyznačujú extrémne vysokým stupňom ionizácie rozprašovaného materiálu, čo umožňuje lepšiu kontrolu výsledných vlastností povlakov, najmä hustoty a následne aj tvrdosti, oteruvzdornosti a adhézie povlaku k podložke. HiTUS umožňuje nanášanie povlakov na plastové fólie a prípadne aj vysokotvrdých povlakov na ložiskovú oceľ pri teplote pod 200 °C. 

Kontakt

ÚMV SAV
Watsonova 47, 040 01 Košice
Tel.: +421-55-7922 453
Fax: +421-55-7922 408
www.imr.saske.sk