Laboratórium povlakovacích technológií

 

Laboratórium povlakovacích technológií

 

 

Vedúci laboratória:

  • Doc.RNDr. František Lofaj, DrSc.
    ( mail flofaj(at)imr.saske.sk, tel +421-55-7922 461  







                     

                              (príprava tvrdých povlakov pre inžinierske aplikácie PVD metódami)


Laboratórium je vybavené najnovšími PVD technológiami na prípravu tvrdých, supertvrdých a prípadne aj funkčných povlakov na báze jedno- a viackomponentných systémov, vrátane nanokompozitných, multivrstvových a gradientných povlakov, pre strojárske a iné aplikácie na báze HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering) - magnetrónového naprašovania vysokoenergetickými impulzami na báze HiTUS (High Target Utilization Sputtering) - naprašovania s vysokou využiteľnosťou terča a nezávislým zdrojom plazmy.



Vybavenie laboratória povlakovacích technológií:




 1. Cryofox Discovery 5000

PVD zariadenie s HiPIMS a DCMS zdrojmi po technickom zhodnotení (Polyteknik, Denmark)

  • 3 nevyvážené magnetróny (2 fokusované) s DC a HiPIMS zdrojmi

  • rotujúci držiak s ohrevom podložiek do 500 °C a pulzným predpätím do -1400 V

  • reakčné naprašovanie (N2, C2H2, H2, O2 a pod.)


 Prínos:

  Zvýšenie tvrdosti W-C povlakov z 15-17 GPa na 28,4 ± 3,4 GPa (+65%)


  2. PQL S500

HiTUS technológia naprašovania tenkých vrstiev a povlakov (PQL Ltd., United Kingdom)

  • 4 terče s priemerom 100 mm s RF zdrojom pre vodivé aj nevodivé materiály

  • rotujúci držiak s ohrevom podložiek do 500 °C a RF predpätím do 500 W

  • reakčné naprašovanie (N2, C2H2, H2, O2)

  • in situ meranie teploty podložky, rýchlosti naprašovania, zloženia zvyškových plynov a zloženia plazmy (optickou spektroskopiou)



  Prínos:

   Zvýšenie tvrdosti W-C povlakov na 34,0 ± 3,0 GPa (+100%)


                                                                                                        

                            


Obe PVD technológie sa vyznačujú extrémne vysokým stupňom ionizácie rozprašovaného materiálu, čo umožňuje lepšiu kontrolu výsledných vlastností povlakov, najmä hustoty a následne aj tvrdosti, oteruvzdornosti a adhézie povlaku k podložke. HiTUS umožňuje nanášanie povlakov na plastové fólie a prípadne aj vysokotvrdých povlakov na ložiskovú oceľ pri teplote pod 200 °C. 








Kontakt

ÚMV SAV
Watsonova 47, 040 01 Košice
Tel.: +421-55-7922 453
Fax: +421-55-7922 408
www.imr.saske.sk




























UMV SAV - Watsonova 47 - 040 01 Košice - Slovakia | Tel.: +421-55-7922 402 | Fax: +421-55-7922 408 | E-mail: imrsas@imr.saske.sk