SEM/FIB laboratórium
| Vedúca laboratória: - Ing. Alexandra Kovalčíková, PhD.
( akovalcikova(at)imr.saske.sk, +421-55-7922 463
|

| CrossBeam systém AURIGA Compact:kombinovaný „dual beam“ mikroskop určený na precízne štruktúrne a chemické analýzy, 2D, 3D zobrazovanie vo vysokom rozlíšení (sekundárne elektróny, spätne odrazené elektróny, 3D energiovo-disperzná analýza, In-lens duo a STEM detektor) a na mikro/nanoobrábanie
SEM (rastrovacia elektrónová mikroskopia)
- Rozlíšenie 0,9 nm pri 30kV (STEM mód), 2,5 nm pri 1kV
- Zväčšenie 12x - 900 000x
FIB (fokusovaný zväzok iónov)
- Rozlíšenie 5 nm (30kV, 1pA)
- Zväčšenie 600x - 500 000x
|
AURIGATM CrossBeam®: GEMINI® elektrónové delo SEM (stred),
iónové delo FIB (vľavo) a systém vstrekovania plynov GIS (vpravo)
Aplikácie:
- Dvoj- a troj-rozmerné zobrazovanie a analýza vodivých i nevodivých materiálov s použitím lokálneho kompenzátora náboja
- Príprava ultratenkých lamiel (<50 nm) pre pozorovanie v TEM (aj z miest, ktoré sú pre iné metódy nedostupné - indentácie, opotrebenie...)
- Príprava vodivých i nevodivých nanoštruktúr (<20 nm) cestou depozície z plynnej fázy
- Mletie, bombardovanie, iónové leptanie materiálov
- Iónová litografia
- Analýza priečnych rezov a štruktúrnych rozhraní materiálov na stanovenie odolnosti voči opotrebeniu, korózii, či oxidácii, meranie hrúbky vrstiev, analýza chýb v materiáli
- Príprava mikroútvarov (pilierov) pre následné nanomechanické skúšanie
Príklady vybraných aplikácií - príprava ultratenkej fólie, vymieľanie materiálu, analýza štruktúrneho
rozhrania, stanovenie hrúbky vrstvy...

Mikromechanické testovanie pomocou inštrumentovej indentácie rôzne orientovaných
WC mikropilierov pripravených s FIB
ÚMV SAV
Watsonova 47, 040 01 Košice
Tel.: +421-55-7922 453
Fax: +421-55-7922 408
www.imr.saske.sk