SEM/FIB laboratórium




SEM/FIB Laboratórium

 

 

Vedúca laboratória:

  • Ing. Alexandra Kovalčíková, PhD.
    ( mail akovalcikova(at)imr.saske.sk, tel +421-55-7922 463  








    
 

CrossBeam systém AURIGA Compact:

kombinovaný „dual beam“ mikroskop určený na precízne štruktúrne a chemické analýzy, 2D, 3D zobrazovanie vo vysokom rozlíšení (sekundárne elektróny, spätne odrazené elektróny, 3D energiovo-disperzná analýza, In-lens duo a STEM detektor) a na mikro/nanoobrábanie


SEM (rastrovacia elektrónová mikroskopia)

  • Rozlíšenie 0,9 nm pri 30kV (STEM mód), 2,5 nm pri 1kV
  • Zväčšenie 12x - 900 000x

FIB (fokusovaný zväzok iónov)

  • Rozlíšenie 5 nm (30kV, 1pA)
  • Zväčšenie 600x - 500 000x
            
AURIGATM CrossBeam®: GEMINI® elektrónové delo SEM (stred),
iónové delo FIB (vľavo) a systém vstrekovania plynov GIS (vpravo)





Aplikácie:

  • Dvoj- a troj-rozmerné zobrazovanie a analýza vodivých i nevodivých materiálov s použitím lokálneho kompenzátora náboja
  • Príprava ultratenkých lamiel (<50 nm) pre pozorovanie v TEM (aj z miest, ktoré sú pre iné metódy nedostupné - indentácie, opotrebenie...)
  • Príprava vodivých i nevodivých nanoštruktúr (<20 nm) cestou depozície z plynnej fázy
  • Mletie, bombardovanie, iónové leptanie materiálov
  • Iónová litografia
  • Analýza priečnych rezov a štruktúrnych rozhraní materiálov na stanovenie odolnosti voči opotrebeniu, korózii, či oxidácii, meranie hrúbky vrstiev, analýza chýb v materiáli
  • Príprava mikroútvarov (pilierov) pre následné nanomechanické skúšanie







 
                           Príklady vybraných aplikácií - príprava ultratenkej fólie, vymieľanie materiálu, analýza štruktúrneho
                                                                         rozhrania, stanovenie hrúbky vrstvy...


                                              


                                          Mikromechanické testovanie pomocou inštrumentovej indentácie rôzne orientovaných
                                                                           WC mikropilierov pripravených s FIB





ÚMV SAV
Watsonova 47, 040 01 Košice
Tel.: +421-55-7922 453
Fax: +421-55-7922 408
www.imr.saske.sk







                                                                   





































UMV SAV - Watsonova 47 - 040 01 Košice - Slovakia | Tel.: +421-55-7922 402 | Fax: +421-55-7922 408 | E-mail: imrsas@imr.saske.sk